両面同軸顕微鏡

概要

両面同軸デジタル顕微鏡にIR(近赤外)カメラを加え、シリコン内部の観察も可能に。

表裏から同時に同軸で観察/計測が可能な顕微鏡です。
また、IR(近赤外)カメラの搭載で、シリコン内部の観察も可能です。

製品情報

両面同軸顕微鏡

両面同軸顕微鏡
表と裏の位置関係の確認、結構面倒ではありませんか?

通常の顕微鏡と同じように表面の観察/測定をする時、裏面の観察/測定を同時に行えます。
これにより非破壊での表裏ズレ検査が可能となりました。
また、IR(近赤外線)顕微鏡を使用する事で、表側からシリコンチップ裏面の観察/測定を可能としました。

  1. 1 上下にカメラを!!表裏の位置測定が可能に
    表面用と裏面用の2つのカメラを同軸に配置。
    表裏面をその場で観察/測定するだけでなく、比較・ズレ測定が可能です。
  2. 2 段さ・厚さの測定を非接触で!
    フォーカスを合わせる事で、非接触での段差の測定が可能です。
    それだけでなく、上下にカメラがある為、厚さも測定する事が可能です。
  3. 3 IR(近赤外線)カメラでシリコンを透過観察!
    インターポーザーに搭載したシリコンチップ。この接合面の確認が可能に!
  4. 4 ライブタリング機能で広大な範囲の確認も簡単!
    パノラマ写真の様に、高精細な観察画像で、広範囲の画像を作成できます。

IR(近赤外線)カメラ

IR(近赤外線)カメラでシリコンチップ内部が観察可能です。

② 上下面からの位置ずれ確認

表面と裏面を同時に表示し、その位置がずれている事が一目で分かります。

② 上下面からの位置ずれ確認

③ ライブタリング機能

パノラマ写真の様に、高解像度の画像を連続的に合成することで、広大な1枚の画像に自動合成します。

ライブタリング

両面同軸顕微鏡の用途

  1. 1 表裏面の非破壊でのズレ検査に。
  2. 2 加工後の初期観察に、ズレ測定、表裏観察、厚み測定と1台でマルチに活躍。

両面同軸顕微鏡のよくあるご質問

表を検査後、裏側を測定・検査していますが、位置が合っているのか確認できませんか?
両面同軸顕微鏡の最も得意とするところです。
表裏面が、ディスプレイに同時に表示され、観察・測定・比較が可能です。
搭載し、はんだ付けしたシリコンチップの接合面側を確認したいのですが可能ですか?
高解像なIR顕微鏡ですので、接合面の観察は容易です。また、低価格でご提供します。
サンプルを準備するのでテストできませんか?
テストできます。
実際にお越しいただき、実機をご覧いただくか、サンプルをご郵送いただき、
観察画像を撮影・提出の形となります。

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