両面同軸デジタル顕微鏡及び近赤外線カメラ

両面同軸デジタル顕微鏡に近赤外カメラを加え、シリコン内部の観察も可能に。

両面から同時に同軸で観察/計測が可能な顕微鏡です。また、近赤外カメラの搭載で、シリコン内部の観察も可能です。

 
 
 

両面同軸顕微鏡

表と裏の位置関係が気になりませんか?

表面の観察/測定をしている時、裏側のものが在るべき位置にあるかの確認ができます。

また、IR(近赤外線)顕微鏡を使用する事で、表側からシリコンチップ裏面の観察が可能です

表と裏の位置関係が気になりませんか?

①上下にカメラを!!

上面用と下面用の2つのカメラを同軸に配置。上下面の位置関係をその場で確認可能です。

②表裏の位置測定及び厚さの測定が非接触で可能です。

上面と下面で同じ位置になくてはならないモノの位置ずれが、今までは測定出来ませんでした。それが可能になります。

また、上下面のフォーカス位置を合わせる事で、非接触での厚さを測定する事が可能です。

③IR(近赤外線)カメラでシリコンを透過観察!

インターポーザーに搭載したシリコンチップ。この接合面の確認が可能に!

④ライブタリング機能で広大な高解像画像が得られます!

高精細な観察画像の表示領域を移動させる事で、連続的に画像合成を行います。

①IR(近赤外線)カメラ

IR(近赤外線)カメラでシリコンチップ内部が観察可能です。


IR顕微鏡でシリコンチップ内を観察

②上下面からの位置ずれ確認

上面と下面を同時に表示し、その位置がずれている事を

確認できます。

DNC変換ソフト

③ライブタリング機能

高解像な画像を連続的に合成することで、広大な画像に自動合成します。

広大で高解像な画像が得られるライブタリング機能
 
 

両面同軸顕微鏡の用途

対象業種:基板製造、電子部品製造/実装 業
用途1.上下面の同時観察、検査に。
 
 

両面同軸顕微鏡のよくあるご質問

表を検査後、裏側を測定・検査していますが、位置のが合っているのか確認できませんが?

両面同軸顕微鏡の最も得意とするところです。上下面が、ディスプレイに同時に表示され、観察も測定も可能です。

 

搭載し、はんだ付けしたシリコンチップの接合面側を確認したいのですが可能ですか?

高解像なIR顕微鏡ですので、裏面の観察は容易です。また、低価格でご提供します。

 
 
 
 
  • お問い合わせ
  • お問い合わせボタン