デジタルダイレクト露光機

オリジナル光源と高精度光学系の更なる改善により、均一な微小ビームの照射、シャープなエネルギ配給を実現。 自社製搬送装置、コントローラ類をビルトイン、マスク露光機とほぼ同一スペースを実現したダイレクト露光機です。

 
 

デジタルダイレクト露光機(DE-H/S SERIES)の特長

 

特長1 マスク不要、高信頼性多重露光方式採用
 
特長2 次世代PWBプロセス(L/S=10μm)への対応
 
特長3 ファイン化と生産性を両立
 
 
 

デジタルダイレクト露光機(EV-SERIES)の特長

 

特長1 高生産性
 
特長2 操作性
 
特長3 クリーン度を追及した高精度全自動露光機
 
 
 

デジタルダイレクト露光機(フォトマッチングデスク)の特長

 

特長1 手動露光機に合わせ精度向上
 
 
 

デジタルダイレクト露光機の用途

HDI薄板ビルドアップ多層基板、BGA、CSP、FC-BGA等パッケージ基板

 
 
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