ダイレクト/コンタクト露光機

オリジナル光源と高精度光学系の更なる改善により、均一な微小ビームの照射、シャープなエネルギ配給を実現。 自社製搬送装置、コントローラ類をビルトイン、マスク露光機とほぼ同一スペースを実現したダイレクト露光機と、実績ある搬送方式を改良し、従来同様のハイタクト(世界最高水準)と大判基板への対応を両立したコンタクト露光機です。

 
 

ダイレクト露光機(DE-UH/ES SERIES)の特長

 

特長1 マスク不要、高信頼性多重露光方式採用
 CADデータを使用、マスクを不要とするダイレクト露光機です。多重露光により、高い信頼性を実現します。
特長2 次世代PWBプロセス(L/S=8μm)への対応
 より細線なパターン化に向け、独自に描画エンジン光学系の改良を重ね、ビームスポット径の微細化を実現。現在のL/S=8μmから、さらにL/S=5μmへの研究開発を継続化させています。
特長3 ファイン化と生産性を両立
 多分割エリアのリアルタイム補正も行え、アライメントカメラの高精度移動軸を搭載することで、タクトを改善。1枚ごとの操作時間の効率化により、生産性の飛躍的な向上に貢献します。
 
 

コンタクト(マスク)露光機(EV-SERIES)の特長

 

特長1 高生産性
 

基板搬送構造にキャリア方式を採用し、更なる改良を加えることで安定した高速搬送を実現

特長2 操作性
 言語対応操作パネル、生産管理ソフト、トラブルシュート機能の充実など、ユーザーフレンドリーな操作性を実現。
特長3 クリーン度を追及した高精度全自動露光機
 クリーン度を追及、多値化画像処理装置との組合せにより、高精度な位置決めが可能。
 
 

フォトマッチングデスクの特長

 フィルムと基板のマッチング作業をスピーディーに行う、自動整合システムです。

特長1 手動露光機に合わせ精度向上

 CCDカメラとイメージプロセッサにより、素早くしかも高精度。

初心者でも簡単な操作性。

 
 

デジタルダイレクト露光機の用途

HDI薄板ビルドアップ多層基板、BGA、CSP、FC-BGA等パッケージ基板

 
 
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